設備要經常保持水質清潔是設備能長期穩定工作的關鍵。必須定期換水、清洗水箱。不能抽粉塵和固體物質。某些腐蝕性氣體可導致水箱內水質變差，產生氣泡，影響真空度，故應注意不斷循環換水。對特殊強腐蝕性氣體，應認真判斷是否與本設備所使用材料有反應，并謹慎使用。真空度上不去應首先判斷是否被抽容器泄漏或皮管接動松動。如屬泵的問題，則檢查進水口或各氣路是否堵塞或松動漏氣。循環水真空泵的電機不轉，應檢查電源或保險絲。

    如發現真空泵有異常聲音應立即停車檢查原因。真空泵要停止使用時，先關閉閘閥、壓力表，然后停止電機。真空泵在工作個月內，經100h更換潤滑油，以后每隔500h，換一次油。經常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。